Struktur medan termal tungku kristal tunggal

Dec 22, 2025

Tinggalkan pesan

Dalam industri fotovoltaik surya, kualitas silikon monokristalin berhubungan langsung dengan kualitas silikon monokristalin. Bidang termal yang memenuhi syarat dapat menumbuhkan-monokristalin berkualitas tinggi. Oleh karena itu, menciptakan kondisi medan termal yang baik merupakan faktor yang sangat penting dalam proses monokristalin Czochralski. Grafit adalah pembawa pertumbuhan kristal tunggal. Grafit-kemurnian tinggi dan bagian pemrosesan grafit yang ditekan secara isostatis terutama digunakan dalam tungku pertumbuhan kristal tunggal grafit Czochralski.

 

Sesuai dengan kebutuhan situasi aktual, ukuran medan termal dibagi sesuai dengan diameter wadah kuarsa. Saat ini, medan termal di negara kita berkisar antara φ12" hingga φ28", dan umumnya, φ18" hingga φ22" adalah mayoritas.

 

Sistem termal tungku kristal tunggal yang disebutkan di sini adalah apa-yang disebut medan termal. Medan termal umumnya mencakup cincin tekanan, penutup insulasi, penutup insulasi atas, tengah, dan bawah, wadah grafit (tiga-penutup), batang penopang wadah, baki wadah, elektroda, pemanas, tabung pemandu, dan baut grafit. Untuk mencegah kebocoran silikon di kemudian hari, pelat pelindung dan selongsong pelindung dipasang di bagian bawah tungku, elektroda logam, dan batang penyangga.

1. Pemanas

Pemanas merupakan komponen yang sangat penting dalam bidang termal. Ini adalah elemen pemanas langsung. Saat suhu tinggi bisa mencapai lebih dari 1600 derajat. Pemanas umum memiliki tiga bentuk: silinder, cangkir, dan spiral. Umumnya, pemanas diproses dari-grafit dengan kemurnian tinggi.

2. Elektroda grafit

Elektroda grafit berfungsi untuk menahan pemanas pada tempatnya dan mengalirkan arus melalui pemanas. Oleh karena itu, elektroda harus tebal, kuat, dan tahan lama, serta permukaannya harus halus dan stabil untuk memastikan permukaan kontak yang baik dan tidak menimbulkan percikan api saat diberi daya. Elektroda grafit juga diproses dengan-grafit dengan kemurnian tinggi.

3. Wadah grafit, batang penyangga grafit, baki grafit

Batang penopang wadah, wadah, dan baki bersama-sama merupakan badan penopang wadah grafit, yang harus dipadukan dengan kuat dengan poros bawah dan memiliki netralitas yang baik. Ketika poros bawah berputar, jarak antara batang penopang dan baki kurang dari atau sama dengan 0,5 mm. Ketinggian badan penyangga grafit dapat disesuaikan.

4. Penutup isolasi

Penutup insulasi termal dibagi menjadi penutup insulasi termal atas, tengah, dan bawah. Penutup insulasi termal terbuat dari karbon grafit yang dililitkan pada silinder insulasi. Jumlah lapisan karbon grafit yang dirasakan tergantung pada situasinya. Penutup insulasi bawah membentuk sistem insulasi bawah. Fungsinya untuk memperkuat insulasi dasar pot, meningkatkan suhu dasar pot, dan mengurangi kehilangan panas.

5. Penutup insulasi dan tabung pemandu

Penutup insulasi termal terdiri dari penutup atas insulasi termal, kain kempa karbon insulasi termal, dan penutup bawah insulasi termal, yaitu lapisan kain karbon grafit diapit di antara dua lapisan grafit annular. Tabung pemandu terutama digunakan untuk mengontrol gradien suhu medan termal dan memandu aliran gas argon di masa depan.

6. Cincin tekanan

Cincin tekanan grafit adalah potongan grafit annular melingkar yang terdiri dari beberapa busur. Itu ditempatkan pada titik kontak antara pelat penutup dan dinding tungku untuk mencegah panas dan gas melewati celah antara perapian dan pelat penutup.